PORTEFEUILLE
Présentation des projets sur le site web
Chaque projet soutenu par Gebert Rüf Stiftung est présenté sur le site web de la fondation avec en particulier les données de base du projet. Par cette publication, la fondation informe sur les résultats du soutien accordé et contribue à la communication scientifique au sein de la société.
Durchstimmbare MID-IR-Sensoren
Rédaction
Für den Inhalt der Angaben zeichnet die Projektleitung verantwortlich.
Coopération
Dieses von der Gebert Rüf Stiftung geförderte Projekt wird von folgenden weiteren Projektpartnern mitgetragen: ETHZ
Données de projet
- Numéro du projet: GRS-055/04
- Subside accordé: CHF 450'000
- Consentement: 02.02.2005
- Durée: 09.2005 - 04.2010
- Champs d'activité: Pilotprojekte, 1998 - 2018
Direction du projet
- PD Dr. Hans Zogg
- Inspire AG
- Laboratorium für Festkörperphysik
- Leonhardstrasse 27, LEO C12
- 8092 Zürich (Schweiz)
- zogg@phys.ethz.ch
Description du projet
Gase wie z.B. Stickoxyde oder Kohlenstoff-Wasserstoffverbindungen können mit optischen Spektroskopietechniken nachgewiesen werden. Ein kompaktes, neuartiges Gerät für diese Anwendung wird entwickelt. Es arbeitet im mittleren Infrarot bei ca. 3-5 µm Wellenlänge. Der Detektor besteht aus epitaktischen Bleichalkogenidschichten und sitzt in einer Mikrokavität. Die Länge dieser Kavität, einige wenige Mikrometer, ist durchstimmbar; dies wird mit Silizium-Mikromechanik Techniken (MEMS) realisiert. Damit kann die Resonanzwellenlänge über einen weiten Bereich verändert werden, der Detektor ist also gleichzeitig auch Spektrometer.
Quelles sont les particularités de ce projet?
Die Gebert Rüf Stiftung fördert mit diesem anwendungsorientierten Forschungsprojekt ein neuartiges Sensorprinzip für umweltrelevante Gasspektroskopie, welches eine kommerzielle Nutzung ermöglichen soll. Diese umfasst z.B. die Messung von Konzentrationen von Kohlendioxid, Kohlenmonoxid, Stickoxiden, Ozon und Kohlenstoff-Wasserstoffverbindungen welche als Spurengase vorhanden sind oder bei Verbrennungsprozessen entstehen.
Etat/résultats intermédiaires
Sensoren wurden komplett hergestellt; sie entsprechen den Spezifikationen. Einige Gasspektren wurden zu Testzwecken aufgenommen. Umsetzung, Wirksamkeit und Impulswirkung:
In einer Dank des Projektes nun zustande gekommenen Industriezusammenarbeit wird die Anwendbarkeit/Herstellbarkeit der entwickelten Sensoren zur Zeit vertieft untersucht. Eine ETH-Spin-off Firma für die Vermarktung befindet sich in Gründung. Wir erhoffen uns dank des neuen Sensors, dass dies verbesserten bzw. vereinfachten Nachweis/Kontrolle von relevanten Gasen ermöglichen wird.
In einer Dank des Projektes nun zustande gekommenen Industriezusammenarbeit wird die Anwendbarkeit/Herstellbarkeit der entwickelten Sensoren zur Zeit vertieft untersucht. Eine ETH-Spin-off Firma für die Vermarktung befindet sich in Gründung. Wir erhoffen uns dank des neuen Sensors, dass dies verbesserten bzw. vereinfachten Nachweis/Kontrolle von relevanten Gasen ermöglichen wird.
Publications
M. Rahim, M. Arnold, F. Felder, K. Behfar, H. Zogg,“ Mid-infrared lead-chalcogenide vertical external cavity surface emitting laser with 5 µm wavelength“, Appl. Phys. Lett. 91, 151102 (2007).
N. Quack, S. Blunier, J. Dual, M. Arnold, F. Felder, C. Ebneter, M. Rahim, H. Zogg, „Vertically moving Micromirror for Detectors in the mid Infrared, Sensors and Actuators“: A Physical (2007), doi:10.1016/j.sna.2007.06.013.
N. Quack, P. Rüst, S. Blunier, J. Dual, F. Felder, M. Rahim, M.Fill, M. Arnold, H. Zogg, „A Comb Drive Actuated Vertically Moving Micromirror for Mid-Infrared Resonant Cavity Enhanced Detectors“: Microelectronic Engineering 86, pp. 1243-1246, 2009.
H. Zogg, M. Arnold, F. Felder, M. Rahim, M. Fill, D. Boye, „Epitaxial lead-chalcogenides on Si for mid-IR detectors and emitters including cavities“:Proc. SPIE Vol. 7082, 70820H, 2008, 11 pages (invited).
N. Quack, S. Blunier, J. Dual, F. Felder, M. Arnold, H. Zogg, „Mid-Infrared Tunable Resonant Cavity Enhanced Detectors Sensors 2008“, 8 (9), 2008, pp. 5466-5478.
N. Quack, S. Blunier, J. Dual, M. Arnold, F. Felder, C. Ebneter, M. Rahim, H. Zogg, „Vertically moving Micromirror for Detectors in the mid Infrared, Sensors and Actuators“: A Physical (2007), doi:10.1016/j.sna.2007.06.013.
N. Quack, P. Rüst, S. Blunier, J. Dual, F. Felder, M. Rahim, M.Fill, M. Arnold, H. Zogg, „A Comb Drive Actuated Vertically Moving Micromirror for Mid-Infrared Resonant Cavity Enhanced Detectors“: Microelectronic Engineering 86, pp. 1243-1246, 2009.
H. Zogg, M. Arnold, F. Felder, M. Rahim, M. Fill, D. Boye, „Epitaxial lead-chalcogenides on Si for mid-IR detectors and emitters including cavities“:Proc. SPIE Vol. 7082, 70820H, 2008, 11 pages (invited).
N. Quack, S. Blunier, J. Dual, F. Felder, M. Arnold, H. Zogg, „Mid-Infrared Tunable Resonant Cavity Enhanced Detectors Sensors 2008“, 8 (9), 2008, pp. 5466-5478.
Revue de presse
noch keine
Liens
http://www.tfp.ethz.ch (Gruppe Dünnschichtphysik ETHZ, PD Dr. Hans Zogg)
http://www.zfm.ethz.ch/d/mems/ (Inst für Mechanische Systeme, Dr. Stefan Blunier)
http://www.zfm.ethz.ch/e/res/mic/ (Inst für Mechanische Systeme)
http://www.zfm.ethz.ch/d/mems/ (Inst für Mechanische Systeme, Dr. Stefan Blunier)
http://www.zfm.ethz.ch/e/res/mic/ (Inst für Mechanische Systeme)
Personnes participant au projet
Dr. Stefan Blunier, ETH Zürich, Institut für Mechanische Systeme CLA J 21.2, Tannenstrasse 3, 8092 Zürich, Tel: +41 (0) 44 632 77 64, Fax: +41 (0) 44 632 11 45, blunier@imes.mavt.ethz.ch
Dernière mise à jour de cette présentation du projet 17.10.2018